有机源制备的氢化非晶碳膜的新颖发光行为

黄晓辉; 徐骏; 李伟; 马天夫; 王立; 陈坤基

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利用有机碳源 (二甲苯 ) ,采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统制备了一系列氢化非晶碳 (a C :H)薄膜样品 .与利用甲烷 (CH4)制备的a C :H不同 ,该样品的光致发光峰位于蓝绿光范围并且呈现多峰结构 ,而不是表现为一个较宽的单峰 .同时样品发光峰的特征随着制备过程中功率不同而变化 .认为 :a C :H薄膜中的芳香环结构的引入产生了新的发光中心。

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来源
《南京大学学报：自然科学版》 |2001年第4期|497-501|共5页
作者
黄晓辉; 徐骏; 李伟; 马天夫; 王立; 陈坤基;
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作者单位

南京大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 O484.41;
关键词
有机源; 光致发光; 氢化非晶碳膜; 制备; 等离子体增强化学气相沉积; 发光特性;

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