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二位零位光栅自动纳米定位系统的实现

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二维零位光栅技术能实现二维方向上的纳米级精度自动定位,在纳米制造领域及测量装备中具有广阔的应用前景.本文首先加工出栅格间距为5μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然后对光栅系统光电转换电路和数据控制电路进行分析设计,实现系统数据采集、显示和运动控制等功能;在此基础上搭建了基于二维零位光栅的纳米定位系统,并提出利用积分法实现二维方向的自动定位.实验结果表明,系统定位速度对透射光强分布具有很高的依赖性,系统一次定位的成功率与初始位置密切相关.若起始位置在以零点为中心,半径为2.5μrm圆形区域内,系统可实现纳米量级定位对准;当起始位置在以零位为中心,5μm～200μm为半径的圆环范围内,自动定位可能存在盲点,但可通过改变初始位置重新进行搜索,仍然能够准确地实现纳米定位。

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来源
《2013年全国第九届精密工程学术研讨会》|2013年|199-205|共7页
会议地点广州
作者
LI Jia-wen; 李家文; CHEN Yu-hang; 陈宇航; HU Yan-lei; 胡衍雷; CHU Jia-ru; 褚家如; HUANG Wen-hao; 黄文浩;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN953.7;
关键词
纳米定位系统; 二维零位光栅; 自动对准; 结构设计;

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