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微米光栅加速度计的光学灵敏度分析

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光学灵敏度分析对微米光栅加速度计整体精度的提高至关重要.本文以标量衍射理论为基础,针对影响微米光栅加速度计光学灵敏度的参数进行了分析和优化.首先,分析了光栅与反射面间距对光学灵敏度影响,得到间距为八分之一波长的奇数倍时灵敏度最高;其次，通过仿真证明光栅结构的占空比为0.5时，光栅各级次的衍射效率最高。最后，研究了入射到光栅上的光斑大小和波长对光学灵敏度的影响，结果表明光入射光斑越大，各衍射级次光斑模场直径越小，衍射效率越高；波长越短，工作区域内灵敏度越大。研究成果为下一步微米光栅加速度计的设计与研究提供了理论依据。

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来源
《2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会》|2013年|274-278|共5页
会议地点大连
作者
Liu Weifang; 刘惟芳; Feng Lishuang; 冯丽爽; Yao Baoyin; 姚保寅; Wang Xiao; 王潇;
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作者单位

中国半导体行业协会;

中国电子科技集团公司第十三研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM938.861;
关键词
光学传感器; 微米光栅加速度计; 标量衍射理论; 光学灵敏度;

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