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功率MOSFET中体二极管的特性研究和改善措施

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TPMOS的寄生体二极管出发,着重介绍了体二极管的反向恢复特性,尤其是软回复特性.结合我司对于体二极管的测试方法,详细介绍了体二极管的测试原理,并以我司SW3N80产品为例,给出了相关的测试条件和测试结果.同时给出了两点改善体二极管的方法,即阳极n+区优化结构和接触区挖槽结构.

著录项

来源
《2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会》|2013年|232-235|共4页
会议地点大连
作者
李佳斌;
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作者单位

中国半导体行业协会;

中国电子科技集团公司第十三研究所;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类二极管：按结构和性能分;
关键词
体二极管; 反向恢复性; 软度因子; 结构优化;

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