微波退火在半导体应用的初探

著录项

• 来源
  《2013中国科学院电磁场前沿学术论坛》|2013年|81-84|共4页
• 会议地点 北京
• 作者

  Zhao Shi-rui; 赵士瑞; Luo Ning; 罗宁; Xiao Jing-bo; 肖璨博; Li Zhi-Chao; 李志超;

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• 作者单位

  中国科学院电工研究院工程电磁场及应用技术研究部;

  中国科学院大学电子电气与通信工程学院;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 半导体器件制造工艺及设备;
• 关键词

  半导体; 微波退火; 超浅结; 离子激活; 固相外延;