微波退火和快速热退火下钛调制镍与锗锡反应

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• 来源
  《物理学报》 |2021年第11期|286-291|共6页
• 作者

  刘伟; 平云霞; 杨俊; 薛忠营; 魏星; 武爱民; 俞文杰; 张波;

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• 作者单位

  上海工程技术大学数理与统计学院 上海 201620;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海 200050;

  上海工程技术大学数理与统计学院 上海 201620;

  上海工程技术大学数理与统计学院 上海 201620;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海 200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海 200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海 200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海 200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海 200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所 信息功能材料国家重点实验室 上海 200050;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类
• 关键词

  微波退火; 快速热退火; 锗锡合金; 钛插入层;