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Ag/Bi<,3.25>La<,0.75>Ti<,3>O<,12>/Bi<,4>Ti<,3>O<,12>/Si结构铁电薄膜制备及其铁电性能的研究

摘要

利用溶胶-凝胶(sol-gel)方法,在硅基底上制备了Bi<,3.25>La<,0.75>Ti<,3>O<,12>/Bi<,4>Ti<,3>O<,12>/Si铁电薄膜,其中Bi<,4>Ti<,3>O<,12>作为缓冲层.用XRD方法分析了该结构铁电薄膜的物相结构;用扫描电镜对薄膜样品进行表面形貌观察;并且对该结构的铁电性能进行了研究.

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