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李庆; 陈志谦; 胡金柱;
中国仪器仪表学会;
中国金属学会;
中国稀土学会;
中国复合材料学会;
中国有色金属学会;
钯; 薄膜; 玻璃衬底; 多晶膜;
机译:通过催化化学气相沉积法制备的a-Si膜的闪光灯退火,在网纹玻璃基板上形成微米级厚度的多晶硅膜
机译:石英衬底上制备的透明导电掺杂钨的氧化锡多晶膜
机译:衬底偏置下直流磁控溅射在室温下沉积的玻璃衬底上的N型多晶硅薄膜的特性
机译:射频等离子体增强化学气相沉积法在氧化铟锡/玻璃衬底上制备多晶InGaN薄膜
机译:用石英晶体微天平直接测定钯膜和碳膜上氢的吸收量,用铂纳米催化剂测定。
机译:等离子体增强原子层沉积法制备硅衬底上Al2O3膜的均匀性和钝化研究
机译:电化学聚合制备聚(巯基桥醌)和聚(巯基-P-苯并醌)膜的电化学研究。 IV。聚合物膜上的钯微粒的制备
机译:通过液态合金的氧化在单晶和多晶衬底上合成c-取向的YbBa(sub 2)Cu(sub 3)O(sub 7-δ)膜。
机译:用于集成半导体器件的触点的生产包括在半导体衬底上形成介电中间层膜,在该膜上形成多晶硅膜和抗反射膜以及进一步处理
机译:非晶或多晶衬底上的晶体膜外延-通过在晶体生长之前在衬底上压印周期性结构
机译:用作MOSFET的半导体器件的制造包括在半导体衬底上依次形成栅极绝缘膜,多晶硅层,阻挡膜和金属膜,蚀刻,氮化和选择性氧化。
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