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SiGe/Si分步布拉格反射镜材料的研究

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引入应力平衡的概念,成功地设计了真实衬底,模拟了Si/Si0.68Ge0.32的反射谱,并用MBE的方法在真实衬底上生长了高反射率Si/Si0.68Ge0.32反射镜,效率可达78%。X-ray双晶摇摆曲线表明,所得材料具有较高的质量,而倒易空间扫描图表明外延Si、Si0.68Ge0.32和Si0.853Ge0.147的中心并不在一条直线上,发现理论设计的应力平衡,在实际当中并没完全达到,生长参数还需要做进一步的调整。

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来源
《第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》|2008年|899-901|共3页
会议地点广州
作者
于丽娟; J.Zhang;
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作者单位

中国电子学会;

广州市科协;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料和工作物质;
关键词
分步布拉格反射镜材料; 双晶摇摆曲线; 应力平衡;

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