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镍铝合金硅化反应研究

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对不同结构的镍铝合金(包舍Ni/Al、Al/Ni、Ni/Al/Ni)在n型硅上的固相反应进行了系统研究。结果显示，该体系中存在Al向Ni的扩散和Ni与Si反应的两种过程，450°C退火处理下，由于界面的Al层阻止了硅化镍的生成，Al作为主导扩散粒子往Ni金属层扩散，而镍铝化舍物在实验中并未发现。Al的加入对于NiSiχ/Si接触肖特基势垒并无显著改变。

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来源
《第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议》|2007年|647-649|共3页
会议地点重庆
作者
黄益飞; 蒋玉龙; 茹国平;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类扩散;
关键词
硅片; 扩散机制; 镍铝合金; 固相反应;

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