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一种多晶硅半导体桥SCB电阻点火器的结构设计与分析

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摘要

介绍了采用半导体集成电路工艺技术研制的新一代点火器——多晶硅半导体桥(SCB--Semiconductor Bridge)电阻点火电路的图形设计、工艺流程设计和点火测试结果。主要包括多晶硅桥电阻均匀性工艺优化、电阻桥的复合结构设计，并给出SCB的桥路电阻差值、点火作用时间、可靠性考核实验数据。

著录项

来源
《第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议》|2007年|472-477|共6页
会议地点重庆
作者
王胜强; 王志宽; 黄磊; 张正元;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构、器件;
关键词
半导体桥点火器; 结构参数; 优化设计; 电阻性能;

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