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阴极工程化应用中的质量一致性控制

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随着阴极工程应用程度的提高，其质量的稳定性要求也不断提高，为了更好的保证最终产品的品质，本文通过分析阴极制备工艺过程，对阴极基体、活性物质采用相关的方法建立了相关质量监控手段来保证阴极产品的一致性，为确保器件的可靠性做出努力。综合采用体积法、气压法对钨基体实现在线全检监控其质量，筛选掉近1/4不合格的钨基体;采用水冷二极管的方法检测铝酸盐的质量，筛掉了近1/3的不合格铝酸盐，相对提高了阴极的质量。

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来源
《中国电子学会真空电子学分会第十八届学术年会暨军用微波管研讨会》|2011年|683-686|共4页
会议地点张家界
作者
王玉春; 谢启辉; 马静; 赵请; 张毅;
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作者单位

中国电子学会真空电子学分会;

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正文语种
原文格式 PDF
中图分类电真空器件制造工艺;
关键词
阴极; 制备工艺; 质量控制;

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