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多晶硅副产品SiCl4综合利用的研究

摘要

四氯化硅(SiCl4)是改良西门子工艺中的副产品,其产量高达10~15t/t多晶硅,可以说能否合理、有效地综合利用好SiCl4副产品对于多晶硅产业的健康发展生死攸关,本文分析了多晶硅生产过程中副产品四氯化硅的产生途径、四氯化硅的综合利用方法,介绍了本课题研发的一种新的利用SiCl4生产多晶硅的方法——金属镁还原直接生产硅工艺.

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