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一种新型宽氧阈低功耗氢气传感器系统的研制

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本文设计开发了一种基于MEMS技术的多通道氢气传感器系统,利用LabVIEW虚拟仪器平台对传感变送信号进行采集、存储、处理和数据分析.敏感材料分别选用N型半导体和P型半导体共六种掺杂金属氧化物,传感器件采用平面光刻及硅微加工工艺,集成了加热、测温及敏感等功能,功耗小于20mW;传感器系统可实现(0～1)％范围内氢气的检测,且适用于常量氧及低氧条件下的氢气检测,有望在航空航天、国防领域及公共安全等方面得到广泛应用.

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来源
《第十四届全国敏感元件与传感器学术会议》|2016年|700-703|共4页
会议地点成都
作者
Yang fang; 杨芳; Liu qi; 刘琦; Wang Xinfeng; 王新锋; Guan Debin; 官德斌;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212:TP205;
关键词
氢气传感器; 制造工艺; 微机电系统; 敏感材料;

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