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压电致动器开关电荷泵驱动方式研究

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压电陶瓷驱动器具有体积小、位移分辨率高、频响宽、承载力大等特点而被广泛应用于精密定位技术中.然而,一般电压源驱动下的压电陶瓷固有的迟滞,蠕变特性,限制了定位系统动态范围、频宽、精度等性能的进一步提高.本课题研究的开关电容电荷泵压电陶瓷驱动方式,可以在开环控制下使得压电元件有很好的线性输出,以及极低的驱动噪声;这种方式还将具有好的动态响应特性、接近直流的低频特性、极高的分辨率极等优点.

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来源
《第十二届设计与制造前沿国际会议（ICFDM2016）》|2016年|467|共1页
会议地点沈阳
作者
冯志华;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM462:TM401;
关键词
开关电容电荷泵; 压电陶瓷; 驱动方式; 开环控制;

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