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TFT-LCD彩色光阻bowl shape问题产生机理及改善对策

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TFT-LCD彩色滤光片制作工艺中红绿蓝(RGB)是依次形成相邻图案,R和G制程后基板地形会呈"凹"型,导致B画素成形后profile容易呈现碗型(bowl shape).因此,本文通过实验验证提出材料面bowl shape产生机理是光阻干燥过程中发生咖啡环效应.即溶剂蒸发过程中国形分随之移动并累积至画素边缘,从而形成边缘高中心低的碗型轮廓.同时,验证发现将色阻组成中树脂分子量提高能有效改善此问题.

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来源
《2018中国显示学术会议》|2018年|16-20|共5页
会议地点西安
作者
RAO Sudi; 饶夙缔; LI Ji; 李吉; TANG Min; 唐敏; WAN You; 万友; QIU Zhilong; 邱志龙; LUO Jiawei; 罗佳炜; CHEN Hsiaohsien; 陈孝贤;
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作者单位

中国物理学会;

中国光学光电子行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN873.93;
关键词
液晶显示器; 薄膜晶体管; 光阻干燥; 碗型轮廓; 树脂分子量;

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