非晶IGZO薄膜晶体管的稳定性

著录项

• 来源
  《2018中国显示学术会议》|2018年|476-480|共5页
• 会议地点 西安
• 作者

  WANG Xinnan; 王鑫楠; YUAN Bo; 袁波; TANG Jing; 唐静; LIU Yucheng; 刘玉成; GE Yong; 葛泳; GAO Xiaoyu; 高孝裕; Huang Xiuqi; 黄秀颀;

  展开▼
• 作者单位

  中国物理学会;

  中国光学光电子行业协会;

  展开▼
• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 TN321.5:TN305;
• 关键词

  薄膜晶体管; 非晶铟镓锌氧; 成膜过程; 氩气; 氧气; 流量比; 稳定性; 迁移率;