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极紫外微通道板光子计数成像探测器暗噪声

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对所研制的EUV相机微通道板(MCP)位置灵敏阳极光子计数成像探测器的暗噪声进行了分析及测量,该探测器主要由工作在脉冲计数模式下球面MCP堆、楔条形阳极及相关的模拟和数据处理电路组成.首先,分析了探测器暗噪声的主要来源及其对图像信噪比的影响,为了获得较小的暗计数率,对MCP堆进行了预处理,包括380℃条件下真空高温烘烤18h,以及电子清刷100μAh,并测量了预处理前后暗计数率及脉冲高度分布;其次,分析了在探测器研制过程中影响暗噪声的外在因素,包括MCP通道损伤、高温工作环境、存储不当导致的MCP通道污染、分压电阻与MCP电极之间引线过长引起的电磁干扰等外在因素对暗噪声的影响;最后,在消除了影响暗噪声的主要外在因素后获得了满足EUV相机要求的暗计数率.

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来源
《中国空间科学学会2013空间光学与机电技术研讨会》|2013年|367-371|共5页
会议地点西安
作者
NI Qi-liang; 尼启良; SONG Ke-fei; 宋克非; ZHANG Hong-ji; 张宏吉;
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作者单位

中国空间科学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光学仪器;
关键词
光子计数成像探测器; 极紫外; 微通道板; 暗噪声;

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