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极紫外波段微通道板光子计数成像探测器性能研究

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研制了用于极紫外(EUV)相机的二维极紫外位置灵敏阳极光子计数成像探测器,该探测器系统主要由工作在脉冲计数模式下微通道板堆、楔条形感应位置灵敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成.设计和制备了周期为1.5mm,有效直径为47mm的三电极楔条形位置灵敏阳极,研制了最高计数率为200kHz前端模拟和数字电路.建立了探测器在EUV波段量子探测效率测定装置并测量了10～40nm波段量子效率随波长的变化,同时测量了探测器的暗计数率、空间分辨率等工作特性.测量结果表明探测器的空间分辨率为51p/mm(即0.2mm),暗计数率小于lcounts/s.cm2,满足极紫外相机对空间分辨率和暗计数率的要求.

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来源
《中国空间科学学会空间机电与空间光学专业委员会2012学术年会》|2012年|375-378|共4页
会议地点厦门
作者
Ni Qi-liang; 尼启良;
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作者单位

中国空间科学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 V447.3;
关键词
航天工程; 空间极紫外相机; 光子计数成像探测器; 性能评价; 微通道板;

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