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元器件ESD失效分析中的关键技术及其应用

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要准确分析判断器件是否由于ESD造成的损伤或失效,在实际工程案例中通常存在几个难点:被发现的滞后性,电特性上与EOS难以区分,芯片内部的失效点难以定位,失效点的物理形貌难以判断,难以查找是哪个环节产生的静电放电损伤了器件,如何进行技术验证.本文将探讨,以上每个分析环节应该使用何种技术,以及在实验中应该做到什么,才能在逻辑上更为严密的确定器件的损伤或失效是由于ESD引起.

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来源
《ESD-S第五届静电防护与标准化国际研讨会》|2016年|21-24|共4页
会议地点西安
作者
WANG You-liang; 王有亮; LIANG Xiao-si; 梁晓思; LAI Ping; 来萍;
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作者单位

中国标准化研究院;

中国空间技术研究院;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试、调整及设备;
关键词
电子元器件; 失效分析; 静电放电;

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