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基于MEMS工艺的9点点火阵列制备技术研究

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摘要

在1cm×1cm面积上设计了9点微型点火序列的总体结构,对多点微型点火序列的制作工艺进行了研究,采用溅射、光刻、刻蚀、键合等微机电工艺(MEMS)实现了换能元以及微结构装药腔体的一体化制作,获得了MEMS换能元以及微结构装药腔体的结构参数和工艺参数.

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来源
《2013年陕西省兵工学会第17届学术年会》|2013年|31-34|共4页
会议地点西安
作者
薛艳; 解瑞珍; 任小明; 刘兰;
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作者单位

陕西省兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺设备;
关键词
单兵作战武器; 微型点火序列; 制备工艺; 微机电换能元; 装药腔体;

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