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7.5-10.5um多层类金刚石减反射膜的研制

摘要

对于大口径大曲率的锗窗口,在其外面镀单层类金刚石减反射膜时,由于的膜层厚度均匀性较差,使得透过率降低,增大系统冷反射.针对这一问题提出镀制多层类金刚石减反射膜,讨论了膜料选择、膜系设计,镀制工艺,以及光学特性,摩擦、盐雾、高低温等理化性能的测试.多层类金刚石减反射膜展宽减反射波段,即使由于膜层厚度不均匀使增透波段发生偏移,也能覆盖探测器的敏感波段,提高了整个光学系统的透过率,降低了冷反射.同时,膜层能够耐受风沙、高低温、盐雾等恶劣环境.

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