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EB-PVD制备ZrO2.Y2O3/NiCoCrAlY热障涂层工艺研究

摘要

本文分别对电子束物理沉积(EB-PVD)制备NiCoCrAlY底层、ZrO2、Y2O3面层的工艺进行研究,得到两种不同成分靶材对沉积加热电流的基本要求及电流范围;在稳定蒸发的条件下,EB-PVD制备涂层的厚度与沉积时间成正比;同时该体系热障涂层性能检测,结果表明该工艺制备的涂层组织具备良好的柱状结构,具有良好的弯曲性能、以及抗热震性能.样品叶片制备的涂层厚度达到设计要求,且经模拟试车试验后,涂层达到了相应技术要求,证明该涂层制备工艺能够满足某航空发动机的部件需求.

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