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环境温度对电容薄膜规校准系数的影响

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本文介绍了电容薄膜规的原理,探讨了环境温度对电容薄膜规校准结果产生的影响,并对修正方法做了分析，同时列举了温度修正实例。电容薄膜规本身是一种非常精密的压力测量仪表，而要达到如此优越的测量精度，则必须考虑对其数值产生影响的诸多因素，环境温度是其中非常重要的一项。在0.1Pa～100Pa范围内，如果需要在高精度情况下使用电容薄膜规，则必须要进行温度修正。

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来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|344-347|共4页
会议地点天津
作者
于红燕; 王金库; 陈宇航;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空测试及仪器;
关键词
真空测量; 电容薄膜规; 校准系数; 环境温度;

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