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有关陶瓷膜片型电容膜片真空计的稳定性

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陶瓷薄膜或膜片型电容膜片真空计进入市场约15年,这些设备全量程从13帕至133仟帕的长期稳定性在过去十年中已测试,被制造商用作为生产线上的参考真空计,这些参考真空计每年与初级标准进行校准,发现这些设备的再现性与它们的全量程有关,对13帕,近全量程的年再现性在0.02%与0.05%间变化,对全量程133帕和更高,在全量程的0.005%与0.03%间变化,陶瓷电容膜片真空计对全量程133帕和1.3仟帕的再现性大大低于初级标准静态膨胀法系统的不定性。陶瓷CDGs技术已达到相当的成熟，长期不稳定性在0.01%～0.02%内(全量程≥133帕)，是如此低，以致静态膨胀法系统初级标准的不定性过高，从而不能直接地观察真实的长期不稳定性。近全量程的陶瓷CDGs被推荐用作为很稳定的传递标准.然而，必须指出，这里用于测试的CDGs经过贮存、运输和用于相对纯的条件下，周围为大气压空气或氮气作为测试气体.本研究的结果不代表将CDGs用于污染的过程环境。

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来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|354-363|共10页
会议地点天津
作者
K. Jousten; Simon Naef;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空计（全压测量）;
关键词
电容膜片真空计; 陶瓷膜片; 校准机理; 长期稳定性;

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