预加张力对电容薄膜真空计感压膜片变形的影响

孟岳; 陈叔平; 成永军; 孙雯君; 裴晓强; 贾春旺; 白彪坤; 金树峰

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预加张力对电容薄膜真空计感压膜片变形的影响

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cqvip:针对电容薄膜真空计感压膜片在预加张力情况下的均布载荷-挠度特性,选择冯·卡门方程和Beams方程作为感压膜片理论模型,并结合ANSYS Workbench软件中的静力学模块进行非线性有限元仿真分析。结果表明:预加张力对感压膜片挠度的影响十分明显,膜片挠度随着预加张力的增加而下降;随着均布载荷和预加张力的增大,感压膜片挠度下降幅度减弱。同一均布载荷下,预加张力越大,其影响比例越大。当均布载荷不断增加、感压膜片挠度增大,预加张力引起的挠度变化在不断减弱,影响比例逐渐下降;感压膜片受1 Pa均布载荷发生初始变形时,13 MPa的预加张力对膜片挠度影响为93%;当均布载荷超过800 Pa时,预加张力所带来的挠度影响不到整个感压膜片挠度变化的35%;均布载荷为1000 Pa、预加张力为7 MPa时,其影响比例为17.9%。利用实际电容薄膜真空计产品对仿真结果进行了初步验证。

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来源
《真空与低温》 |2020年第1期|31-36|共6页
作者
孟岳; 陈叔平; 成永军; 孙雯君; 裴晓强; 贾春旺; 白彪坤; 金树峰;
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作者单位

兰州理工大学石油化工学院兰州 730050;

兰州空间技术物理研究所兰州 730000;

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正文语种 chi
中图分类真空测试技术;
关键词
电容薄膜真空计; 感压膜片; 预加张力; 挠度特性;

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