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小型电容薄膜真空计性能实验

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摘要

商用电容薄膜真空计存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种具有外形尺寸小、重量轻、工作温度范围宽等特点的小型电容薄膜真空计.本文在已经建立的金属膨胀法真空标准装置上对小型电容薄膜真空计的线性、稳定性、重复性等各项性能进行了实验研究.实验结果表明,小型电容薄膜真空计具有良好的线性,重复性和稳定性均满足计量标准要求.

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来源
《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|297-301|共5页
会议地点天津
作者
SUN Wen-jun; 孙雯君; FENG Yan; 冯焱; MA Ben; 马奔; CHENG Yong-jun; 成永军; ZHAO Lan; 赵澜;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空计（全压测量）;
关键词
电容薄膜真空计; 性能测试; 实验设计; 可靠性分析;

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