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高密度间热式大面积六硼化镧阴极直线等离子体发生器

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介绍了适用于高性能面对等离子体材料(PFM)和等离子体特性研究的直线等离子体发生器(LPD).主要结构包括四个可独立控制的磁场线圈,真空室和真空获得系统,高密度间热式六硼化镧(LaB6)阴极等离子体源,材料测试样品台,等离子体探针,水冷系统,进气控制系统等.实验结果表明,该阴极和LPD性能良好,能可靠长时间运行.实验前装置真空度5×10-5Pa,实验中测得的等离子体束流密度高于1×1022 m-2s-1,等离子体密度高于1×1012/cm2.

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来源
《第八届华东三省一市真空学术交流会》|2013年|58-63|共6页
会议地点合肥
作者
Li Bo; 李波; Wu Jiefeng; 吴杰峰; Zhang Ping; 张平;
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作者单位

安徽省真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类热核装置;
关键词
等离子体发生器; 结构分析; 磁场强度; 真空环境;

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