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用于微纳器件制备的高精度三维操作台设计

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随着微/纳机械电子系统(MEMS)技术的进一步发展,人们将更多的目光转向新型的功能纳米材料,期以得到更多新型、多功能化、性能优异的维纳传感器.纳米线便是其中重要的一种,本文设计了一种用于对纳米线进行操纵的高精度三维位移台结构,用以实现纳米线的操纵和定位.系统包括高分辨率荧光显微镜、三维位移台结构以及用于与纳米线接触的纳米光纤探针.系统能够实现纳米线的高精度定位与操纵,对制备基于纳米线的纳米传感器具有重要意义.

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来源
《陕西省智慧城市发展学术研讨会》|2017年|188-193|共6页
会议地点香港
作者
李磊;
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作者单位

香港中医学会、教育研究基金会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
传感器; 三维操作台; 纳米线;

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