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离子诱发光子发射显微镜在单粒子效应显微成像中的应用

摘要

在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了一套新的离子诱发光子发射型显微镜装置,该装置通过使用高效率的光学探测和传输系统有效提高了光子的总探测效率,高量子效率的CCD和大数值孔径的物镜更有利于光子的收集和探测.通过CCD观测到了单个C1离子的显微光学图像,单个离子的位置分辨率约为6μm,薄膜厚度越薄位置分辨率越高,掺杂杂质以及入射离子与ZnS表面的微小角度也会影响光斑的分辨率.单粒子事件由光学信号和脉冲信号同时出现来确定,并对单粒子有效符合以及偶然符合进行了分析,通过有效符合事件绘制出了单粒子效应二维分布图谱.该设备可以有效的应用于微电子器件的单粒子效应显微成像测试中.

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