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台式扫描电镜的创新之路

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自从上世纪六十年代扫描电镜(SEM)诞生以来,已在全世界范围内得到了广泛的应用.中国每年进口百台左右.当你走进任何一个扫描电镜实验室,都可以看到一个巨大的仪器,一米宽,二米高的主机,一个写字台大的操作台,后面还有在高速旋转工作着的真空泵,电缆和真空管道一大堆.没有十几平米的面积是无法安装和维护这个科学仪器的.随着各个领域的深入应用,常规扫描电镜的缺点则逐渐暴露出来,即体积庞大,调试麻烦,安装复杂,验收不易.摆在人们面前的任务是:设计一种小型的扫描电镜,牺牲一定的分辨率指标,但能获得二次电子图像或背散射电子图像,体积小于一立方米,安装简单,使用方便.

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来源
《上海市老科学技术工作者协会第十六届学术年会》|2018年|4-6|共3页
会议地点上海
作者
唐圣明;
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作者单位

上海市老科学技术工作者协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN16:TN103;
关键词
台式扫描电镜; 真空系统; 电子枪; 高压系统; 操作系统; 成像系统;

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