碳纤维表面沉积碳化钨膜研究

摘要

通过w(CO)6化学气相沉积(MOCVD)工艺,在碳纤维表面沉积得到了碳化钨膜材料,研究了碳纤维表面沉积碳化钨膜的工艺条件.结果表明:在400℃沉积温度下,沉积时间为15min时,一定浓度的W(CO)6可解离沉积在碳纤维表面形成致密碳化钨膜,膜层厚度0.4μm,物相为WC1-x相,与碳纤维基体结合强度较高. DTA分析表明,复合碳纤维的抗热氧化性能得到了明显提高.

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