流化床法制备粒状多晶硅研究进展

摘要

本文总结了流化床法制备粒状多晶硅技术的发展现状,就流化床法生产粒状多晶硅工艺中存在的内壁沉积、粉尘、气泡等问题进行了分析,并提出了相应的解决方法。

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