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微机电系统MEMS发展的几点建言

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所在微机电系统(MEMS)方面虽然取得不少研究成果，但在国内外的显示度尚不够。笔者提出可发展能批量生产的智能模块/智能尘、开发廉价高效微能源、发展MEMS生物传感系统及开发RF MEMS应用系统，可大大提高该科研所在MEMS方面的实力和威望。

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来源
《上海市老科学技术工作者协会第十届学术年会》|2012年|56|共1页
会议地点上海
作者
高培德;
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作者单位

上海市老科学技术工作者协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP271.4;
关键词
微机电系统; 技术研发; 智能模块; 生物传感系统;

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1. 立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用 [J] . 李敬锋 . 无机材料学报 . 2002,第004期
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