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首页> 外文会议>11th EMAS regional workshop on electron probe microanalysis of materials today : Practical aspects >PERFORMANCE CHARACTERISTICS OF WDS AND EDS DETECTORS
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PERFORMANCE CHARACTERISTICS OF WDS AND EDS DETECTORS

机译：WDS和EDS检测器的性能特征

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Traditionally the wavelength dispersive spectrometer (WDS) has been the X-ray detector of the electron microprobe, and the energy dispersive spectrometer (EDS) that of the scanning electron microscope. Now, of course, probably the majority of microprobes and an increasing number of SEMs are fitted with both. The two detector types have very different performances and characteristics, and some understanding of these differences will help in making the most effective use of them. In this paper I hope to explain the main practical characteristics, and provide at least a starting point for a better understanding of how to best use the detectors. I have restricted the scope to only cover those characteristics which result from the detectors (e.g., not absorption or fluorescence in the sample), and only cover the most common types of detectors (e.g., no multi-layer synthetic diffraction 'crystals').
机译：传统上，波长色散光谱仪（WDS）是电子探针的X射线检测器，而能量色散光谱仪（EDS）是扫描电子显微镜的X射线检测器。当然，现在，可能大多数微探针和越来越多的SEM都安装了这两种探针。两种检测器具有不同的性能和特性，对这些差异的一些了解将有助于最有效地利用它们。在本文中，我希望解释主要的实用特性，并至少为更好地了解如何最佳使用检测器提供一个起点。我将范围限制为仅涵盖检测器产生的那些特征（例如，样品中没有吸收或荧光），并且仅涵盖最常见类型的检测器（例如，没有多层合成衍射``晶体''）。

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