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LWIR 2x256 focal plane array for time delay and integration

机译:LWIR 2x256焦平面阵列,用于延时和积分

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摘要

A FPA architecture and technology developed by RD&P Center ORION based on planar HgCdTe photodiode arrays and cooled silicon integrated readout circuits is presented. Photovoltaic detectors array made on mercury cadmium telluride (MCT) liquid phase epitaxy (LPE) layer and silicon readout circuits are linked by indium bumps on sapphire interconnection substrate. Cooled silicon readout circuits have been made by n-MOS technology with no TDI stages at focal plane. For 8-12 μm wavelength range detectivity is (5-10)x10~(10) cmW~(-1)Hz~(1/2) for 2x256 FPA with two TDI elements.
机译:提出了由RD&P中心ORION基于平面HgCdTe光电二极管阵列和冷却的硅集成读出电路开发的FPA体系结构和技术。蓝宝石互连基板上的铟凸点将在碲化汞镉(MCT)液相外延(LPE)层上制成的光伏探测器阵列与硅读出电路相连。冷却硅读出电路已经通过n-MOS技术制成,焦平面上没有TDI级。对于8-12μm的波长范围,具有两个TDI元件的2x256 FPA的检测灵敏度为(5-10)x10〜(10)cmW〜(-1)Hz〜(1/2)。

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