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首页> 外文会议>2003 Nanotechnology Conference and Trade Show Nanotech 2003 Vol.2 Feb 23-27, 2003 California, USA >Dynamic simulation of MEMS switches using Simulink~(~R)
【24h】

Dynamic simulation of MEMS switches using Simulink~(~R)

机译：使用Simulink〜（〜R）动态仿真MEMS开关

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A nodal model is implemented in Simulink and used to investigate the dynamics of electrostatically actuated MEMS switches. The model is based on reduced order 4DOF beam elements, with electrostatic forces based on simple parallel plate approximations at each node. Hard stops and contact stiction conditions are implemented. Using this model, the role of dynamic forces in overcoming contact stiction in MEMS switches is investigated. For an example MEMS switch, the relationship between the design of the switch, the strain energy under actuation and the dynamic restoring force are discussed. Dynamic forces are found to play a highly significant role in overcoming contact stiction.
机译：在Simulink中实现了一个节点模型，该模型用于研究静电驱动MEMS开关的动力学特性。该模型基于降阶的4DOF束单元，静电力基于每个节点上的简单平行板近似值。硬停止和接触静摩擦条件得以实现。使用该模型，研究了动态力在克服MEMS开关中的触点静摩擦中的作用。对于一个示例MEMS开关，讨论了开关的设计，致动下的应变能和动态恢复力之间的关系。发现动态力在克服接触摩擦中起着非常重要的作用。

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