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首页> 外文会议>75th ARFTG Microwave Measurements Conference >Uncertainties in coplanar waveguide and microstrip line standards for on-wafer Thru-Reflect-Line calibrations
【24h】

Uncertainties in coplanar waveguide and microstrip line standards for on-wafer Thru-Reflect-Line calibrations

机译：晶圆上直通反射线校准的共面波导和微带线标准品的不确定性

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In this paper the effect of uncertainties in the cross-sectional parameters of CPWs and MSLs (e.g. line geometry, substrate material) on the propagation constants is investigated, and fundamental differences between CPW and MSL are illustrated. Since both planar waveguides can be characterized by on-wafer S-parameter measurements, the propagation of uncertainties when using either CPWs or MSLs as calibration standards for the well-known Thru-Reflect-Line calibration procedure is also investigated.
机译：在本文中，研究了CPW和MSL的横截面参数的不确定性（例如线几何形状，基板材料）对传播常数的影响，并说明了CPW和MSL之间的基本差异。由于两个平面波导都可以通过晶圆上S参数测量来表征，因此还研究了使用CPW或MSL作为众所周知的直通反射线校准程序的校准标准时的不确定性传播。

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