【24h】

PHOTOACOUSTIC AND X-RAY STUDIES ON H~+ ION IMPLANTED n-GaAs

机译:H〜+离子注入n-GaAs的光声和X射线研究

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摘要

Qualitative and quantitative analysis on the defects in H~+ ion implanted n-GaAs are carried out here by Atomic Force Microscopy (AFM), XRD and Photoacoustic measurements for various doses. The close agreement between these measurements reveal that even the microscopic strain parameter ∈_1 can be viewed in photoacoustics. Various thermal parameters are computed for the 30 keV H~+ ion implanted n-GaAs and reported for the first time.
机译:本文通过原子力显微镜(AFM),XRD和光声测量对各种剂量的H〜+离子注入的n-GaAs中的缺陷进行了定性和定量分析。这些测量之间的密切一致性表明,即使在光声中也可以看到微观应变参数∈_1。计算了30 keV H〜+离子注入的n-GaAs的各种热参数,并首次进行了报道。

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