A CURRENT OVERVIEW OF MEMS FOUNDRY SERVICES IN JAPAN AND DNP ACTIVITIES FOR THE DEVELOPMENT OF MEMS INDUSTRY

著录项

• 来源
  《8th International conference on commercialization of micro and nano systems (COMS 2003)》|2003年|365-368|共4页
• 会议地点 Amsterdam(NL);Amsterdam(NL)
• 作者

  Kiyokazu Takeshita; Jiro Takei; Atsushi Takano;

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• 作者单位

  Dai Nippon Printing Co., Ltd.250-l,Wakashiba, Kashiwa-shi,Chiba-ken 277-0871, Japan;

  rnDai Nippon Printing Co., Ltd.250-l,Wakashiba, Kashiwa-shi,Chiba-ken 277-0871, Japan;

  rnDai Nippon Printing Co., Ltd.250-l,Wakashiba, Kashiwa-shi,Chiba-ken 277-0871, Japan Tel: +81-4-7134-1208 FAX:+81-4-7133-2540 E-mail: Takeshita-K@mail.dnp.co.jp;

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