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Design and fabrication of biperiodic AR gratings for the infrared

机译：双周期红外红外光栅的设计与制造

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We have designed and fabricated a silicon grating which shows antireflection properties in the [4μm ; 6μm] spectral region. It is shown both theoretically and experimentally that, even if the refractive index and the grating period are in the extend that a simple homogenization theory can not be used, a substantial broadband antireflection effect can be obtained. The grating was made using a wet anisotropic etching technique. The reflectance was calculated with a modal method and compared successfully with the experimental results. It is shown that the grating reduces the silicon substrate reflectance in the whole [4μm; 6μm] spectral domain by a factor greater than 10.
机译：我们已经设计并制造出了一种硅光栅，其在[4μm; 6μm]光谱区域。从理论上和实验上都表明，即使在不能使用简单的均化理论的情况下，即使折射率和光栅周期处于扩展范围，也可以获得明显的宽带减反射效果。使用湿各向异性蚀刻技术制成光栅。使用模态方法计算反射率，并将其与实验结果成功比较。结果表明，光栅降低了整个硅基板的反射率[4μm; 6μm]光谱域的系数大于10。

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