Reduced height RF MEMS for low GHz frequency

机译：用于低GHz频率的降低高度的RF MEMS

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RF MEMS switches are one of the most promising future micro-machined products that have attracted numerous research efforts in recent years. This paper aims to propose an electrostatically actuated RF MEMS switch with reduced height. The switch is designed and optimized using an electrical and mechanical model. A single bridge switch employing torsion spring has been described to achieve high isolation of −40 dB at 10GHz frequency and low pull-down voltage. The results show that the proposed switch is suitable for various X-band applications including phased array antennas/radars, impedance matching circuits, transmitters/receivers, phase shifters, and so on.

机译：RF MEMS开关是最有前途的未来微加工产品之一，近年来吸引了众多研究工作。本文旨在提出一种减小高度的静电驱动RF MEMS开关。使用电气和机械模型对开关进行设计和优化。已经描述了采用扭簧的单桥开关在10GHz频率下实现了-40 dB的高隔离度和低下拉电压。结果表明，所提出的开关适用于各种X波段应用，包括相控阵天线/雷达，阻抗匹配电路，发射器/接收器，移相器等。

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来源
《Applied Electromagnetics Conference (AEMC), 2011 IEEE》|2011年|p.1- 3|共3页
会议地点 Kolkata(IN)
作者
Mishra Bandana; Alex Z. C.;
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作者单位

School of Electronics Engineering, VIT University, Vellore, India;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类通信;
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