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Multiscale Simulations of ALD in Cross Flow Reactors

机译：错流反应器中ALD的多尺度模拟

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We have developed a multiscale simulation code that allows us to study the impact of surface chemistry on the coating of large area substrates with high surface area/high aspect-ratio features. Our code, based on open-source libraries, takes advantage of the ALD surface chemistry to achieve an extremely efficient two-way coupling between reactor and feature length scales, and it can provide simulated quartz crystal microbalance and mass spectrometry data at any point of the reactor. By combining experimental surface characterization with simple analysis of growth profiles in a tubular cross flow reactor, we are able to extract a minimal set of reactions to effectively model the surface chemistry, including the presence of spurious CVD, to evaluate the impact of surface chemistry on the coating of large, high surface area substrates.
机译：我们开发了一种多尺度模拟代码，使我们能够研究表面化学对具有高表面积/高长宽比特征的大面积基材的涂层的影响。我们基于开放源代码库的代码利用ALD表面化学特性，在反应堆和特征长度标尺之间实现了极为高效的双向耦合，并且可以提供模拟石英晶体微量天平和质谱数据。反应堆。通过将实验表面表征与管形错流反应器中的生长曲线的简单分析相结合，我们能够提取最少的反应集，以有效地对表面化学建模，包括是否存在杂散CVD，以评估表面化学对大型，高表面积基材的涂层。

著录项

  • 来源
  • 会议地点 Cancun(MX)
  • 作者

    A. Yanguas-Gil; J. A. Libera; J. W. Elam;

  • 作者单位

    Energy Systems Division, Argonne National Laboratory, Lemont, Illinois 60439, USA;

    Energy Systems Division, Argonne National Laboratory, Lemont, Illinois 60439, USA;

    Energy Systems Division, Argonne National Laboratory, Lemont, Illinois 60439, USA;

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  • 正文语种 eng
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