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INFLUENCE OF THE DEPOSITION PARAMETERS ON THE TEXTURE OF CVDGROWN PYROCARBON LAYERS

机译：沉积参数对化学气相沉积碳层结构的影响

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来源
《Carbon '01》|2001年|p.1-2|共2页
会议地点 Lexington KY(US);Lexington KY(US)
作者
V. DE PAUW; B. REZNIK; S. KALH?FER; D. GERTHSEN; K.J. HüTTINGER;
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作者单位

Laboratorium für Elektronenmikroskopie, Universit?t Karlsruhe (TH), Kaiserstra?e 12, D-76128 Karlsruhe, Germany;

Laboratorium für Elektronenmikroskopie, Universit?t Karlsruhe (TH), Kaiserstra?e 12, D-76128 Karlsruhe, Germany;

Laboratorium für Elektronenmikroskopie, Universit?t Karlsruhe (TH), Kaiserstra?e 12, D-76128 Karlsruhe, Germany;

Laboratorium für Elektronenmikroskopie, Universit?t Karlsruhe (TH), Kaiserstra?e 12, D-76128 Karlsruhe, Germany;

Institut für Chemische Technik, Universit?t Karlsruhe (TH), Kaiserstra?e 12, D-76128 Karlsruhe, Germany;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类第Ⅳ族非金属元素（碳和硅）及其化合物;
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