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首页> 外文会议>Conference on MEMS Reliability for Critical Applications 20 September 2000 Santa Clara, USA >Micro Nano Technology Visualization (MNTV) of Micromachined MEMS Polysilicon Structures
【24h】

Micro Nano Technology Visualization (MNTV) of Micromachined MEMS Polysilicon Structures

机译：微机械化MEMS多晶硅结构的微纳米技术可视化（MNTV）

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Micro-Nano Technology Visualization (MNTV) is critical to studies in MEMS reliability. The ability to see and characterize the microstructures and interfaces with high resolution at the microscale and nanoscale is invaluable. In this paper we present the motivation, paradigm, and examples of visualization techniques appliecd to several aspects of surface micromachined polysilicon structures. High resolution cross-section imaging, using both a FIB/SEM and FIB/STEM, is used to acquire information on profile differences between fabrication facilities and grain size and orientation. The AFM is used to compare surface roughness of both sides (top and bottom surfaces) of thin film polysilicon after release etching. The data gathered will be extremely useful feedback for fabrication facilities in terms of process characterization and quality assurance. The data will also be sueful for MEMS CAD tools where device and process models must validated.
机译：微纳米技术可视化（MNTV）对MEMS可靠性的研究至关重要。在微观和纳米尺度上以高分辨率观察和表征微观结构和界面的能力非常宝贵。在本文中，我们介绍了应用于表面微机械加工多晶硅结构几个方面的动力，范例和可视化技术示例。同时使用FIB / SEM和FIB / STEM进行的高分辨率截面成像可用于获取有关制造设备之间的轮廓差异以及晶粒尺寸和方向的信息。 AFM用于比较释放刻蚀后的薄膜多晶硅的两面（顶面和底面）的表面粗糙度。就工艺特征和质量保证而言，所收集的数据对于制造设施将是极为有用的反馈。该数据对于必须验证器件和工艺模型的MEMS CAD工具也非常有用。

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