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首页> 外文会议>Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA >Thermally actuated microprojector for optical display applications
【24h】

Thermally actuated microprojector for optical display applications

机译：热驱动微型投影仪，用于光学显示应用

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A dual axis, rester-scanning laser display based on a monolithic micromachined scanning mirror is presented. The scanner consists of a micromirror located at the end of a thermally actuated bimorph beam. The novelty of the device is that an "L"-shpae cantilever, which is simultaneously excited at non-resonance (frame scanning) and at resonance (raster scanning), gives the two orthogonal angular motions. The high sensitivity of th ethermal bimorph actuator allows a low frequency (non-resonant) movement of the scanner in one direction. The second orthogonal scanning direction is a resonance torsion motion.
机译：提出了一种基于单片微加工扫描镜的双轴，剩余扫描激光显示器。扫描仪由位于热激励双压电晶片光束末端的微镜组成。该设备的新颖之处在于，在非共振（帧扫描）和共振（光栅扫描）同时被激发的“ L” -shpae悬臂给出了两个正交角运动。热双压电晶片致动器的高灵敏度允许扫描仪在一个方向上进行低频（非共振）移动。第二正交扫描方向是共振扭转运动。

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