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Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA
Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA
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1.
Micromirrors and micromirror arrays for scanning applications
机译:
用于扫描应用的微镜和微镜阵列
作者:
Thomas Gessner
;
Steffen Kurth
;
Christian Kaufmann
;
Joachim Markert
;
Andreas Ehrlich
;
Wolfram Dotzel
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
micromirror;
laser projection;
spectrometer;
dust monitoring;
2.
Micromirror arrays for wavefront correction
机译:
微镜阵列,用于波前校正
作者:
Andreas Gehner
;
Michael Wildnhain
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
adaptive optics;
wavefront correction;
micromechanical mirror device;
pitston-type mirror elements;
spatial light modulator;
surface micromachining;
MOEMS;
3.
A scanning silicon micromirror using a bi-directionally movable magnetic microactuator
机译:
使用双向可移动磁性微致动器的扫描硅微镜
作者:
Hyoung J. Chu
;
Jun Yan
;
Stephen T. Kowel
;
Fred R. Beyette
;
Chong H. Ahn
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
MEMS;
micromirror;
magnetic microacturator;
permanent magnet;
hard magnetic film;
bi-directional actuation;
UV-LIGA;
electroplating;
4.
Positioning Strategies and Sensor Integration in Tools for Assembly MOEMS
机译:
装配MOEMS工具中的定位策略和传感器集成
作者:
Gunther Reinhart
;
Dirk Jacob
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
micro-assembly;
flip-chip assembly;
positioning strategies;
sensor interategies;
sensor integration;
tool development;
optic development;
5.
Status of the Development of a 128X128 Microshutter Array
机译:
128X128微快门阵列的开发现状
作者:
S.H. Moseley
;
R.K. Fettig
;
A.S. Kutyrev
;
M.J. Li
;
D.B. Mott
;
B.E. Woodgate
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
microshutters;
micro-optics;
spatial light modulator;
programmable masks;
slit maks;
DRIE;
micromirrors;
arrays;
6.
Design and Modelling of large deflection micromechanical lD and 2D Scanning Mirrors
机译:
大挠度微机械lD和2D扫描镜的设计与建模
作者:
H. Schenk
;
P. Durr
;
D. Kunze
;
H. Lakner
;
H. Kuck
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
micro mirror;
1D-scannerl;
2D-scanner;
scanner;
design;
FEM;
modal analysis;
robustness;
7.
Integrated optical motion detection microsystem with programmable reoslution
机译:
集成光学运动检测微系统,具有可编程分辨率
作者:
ANton Pletersek
;
Janez Trontelj
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
interpolators;
differential drivers;
optoelectronics;
microstrips;
diodes;
optosensors;
8.
Design and Fabrication of Optical-MEMS Pressure Sensor Arrays
机译:
光学MEMS压力传感器阵列的设计与制作
作者:
Samhita Dasgupta
;
Jie Zhou
;
J. Mitch Wolff
;
Howard E. Jackson
;
Joseph T. Boyd
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
fiber-optic;
micromachined;
snesor arrays;
dynamic response;
fabry-perot;
pressure sensors;
9.
Design and Realisation of a novel polymer-based Singlemode integrated-optical Beam Splitter
机译:
基于聚合物的新型单模集成光分束器的设计与实现
作者:
Sven Kruger
;
Hans-Dieter Bauer
;
Thomas Paatzsch
;
Anne Gaudron
;
Martin Popp
;
Ingo Smaglinski
;
Wolfgang Ehrfeld
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
integrated optics;
singlemode beam spliter;
rib mode stripper;
polymers;
microtechnology;
BPM simulations;
LIGA;
temperature dependency of refractive indices;
10.
Development of Individually Addressable Micro-Mirror-Arrays for Space Applications
机译:
用于空间应用的可单独寻址的微镜阵列的开发
作者:
Sanghamitra B. Dutta
;
Audrey J. Ewin
;
Murzy Jhabvala
;
Carl A. Kotecki
;
JOnathan L. Kuhn
;
D. Brent Mott
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
MEMS;
micro-mirror-array;
cryogenic MEMS;
cryogenic CMOS;
NGST;
11.
Development of modules for micro optical integration and MOEMS packaging
机译:
开发用于微光学集成和MOEMS封装的模块
作者:
Karl-Heinz Brenner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
micro optics;
integration;
packaging;
12.
Design and fabrication of optical microcavities using III-V Semiconductor-based MOEMS
机译:
使用基于III-V半导体的MOEMS设计和制造光学微腔
作者:
P. Vikorovitch
;
J.L. Leclercq
;
E. Goutain
;
D. Rondi
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
MOEMS;
InP;
fabry-perot micro-cavity;
tunable filter;
routing photonic devices;
13.
Electro-mechanical Simulation of a Large Aperture MOEMS Fabry-Perot Tunable Filter
机译:
大口径MOEMS法布里-珀罗可调滤波器的机电模拟
作者:
Jonathan L. Kuhn
;
Richard B. Barclay
;
Matthew A. Greenhouse
;
D. Brent Mott
;
Shobita Satyapal
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
simulation;
electro-mechanical;
fabry-perot;
tunable filter;
membrane;
optical coating;
14.
Miniature high-resolution imaging system with 3-dimensional MOEMS beam scanning for Mars exploration
机译:
具有3维MOEMS光束扫描的微型高分辨率成像系统,用于火星探测
作者:
David L. Dickensheets
;
Phillip A. Himmer
;
Robert A. Friholm
;
B. Jeffrey Lutzenberger
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
deformable membrane;
MOEMS;
MEMS;
torsion mirror scanner;
confocal microscope;
15.
Microsystmes for Diverse Applications using Recently Developed Microfabrication Techniques
机译:
使用最新开发的微细加工技术用于多种应用的微系统
作者:
Laurent Dellmann
;
Teronobu Akiyama
;
Danick Briand
;
Sebastien Gautsch
;
Olivier Guenat
;
Benedikt Guldimann
;
Philippe Luginbuhl
;
Cornel Marxer
;
Urs Staufer
;
Bart van der Schoot
;
Nico F.de Rooij
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
16.
MEMS/MEOMS-Metrology Machine Vision
机译:
MEMS / MEOMS-计量学与机器视觉
作者:
Rick Conner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
17.
MEMS Feedback Control Using Through-Wafer Optical Device Monitoring
机译:
MEMS反馈控制,通过晶圆光学设备监控
作者:
J.M. Dawson
;
L. Wang
;
J. Chen
;
P.F. Famouri
;
L.A. Hornak
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
MEMS;
through-wafer optics;
diffractive optics;
optical metrology;
linear contol;
nonlinear sliding control;
18.
Optical 2x2 switch matrix with electromechanical micromotors
机译:
带机电微电机的2x2光学开关矩阵
作者:
A. Ruzzu
;
D. Haller
;
J. Mohr
;
U. Wallrabe
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
optical switch array;
micromirror;
microoptical bench;
electrostatic motor;
wobblemotor;
LIGA;
19.
Optical performance requirements for MEMS-scanner based microdisplays
机译:
基于MEMS扫描仪的微型显示器的光学性能要求
作者:
Hakan Urey
;
David W. Wine
;
Thor D. Osbom
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
scanner;
resolution;
retinal scanning display;
RSD;
20.
Pivoting micromirror designs for large orientation angles
机译:
旋转微镜设计可实现大定向角
作者:
Ernest J. Garcia
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
optics;
micro optics;
micromirrors;
MEMS;
MOEMS;
micro optical switches;
21.
MOEMS PRessure Sensors For Propulsion Applications
机译:
用于推进应用的MOEMS压力传感器
作者:
Joseph T. Boyd
;
Samhita Dasgupta
;
Howard E. Jackson
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
fiber-optic;
micromachined;
sensor arrays;
dynamic response;
fabry-perot;
pressure sensors;
22.
New Design for an Integrated Fourier Transform Spectrometer
机译:
集成傅立叶变换光谱仪的新设计
作者:
Omar Manzardo
;
Hans Peter Herzig
;
Benedikt Guldimann
;
COrnel Marxer
;
Nico de Rooij
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
fourier spectroscopy;
actuator;
MOEMS;
23.
Hybrid MOEMS approaches for fiber optic switches and switch matrices
机译:
用于光纤交换机和交换机矩阵的混合MOEMS方法
作者:
Rolf Goring
;
Frank Wippermann
;
Kay Kubitz
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
fiber optic switches;
piezoelectric actuators;
microprisms;
microlens arrays;
fiber arrays;
microoptic integration;
24.
Control and shape design of an electrically-damped comb drive for digital switches
机译:
用于数字开关的电阻尼梳状驱动器的控制和形状设计
作者:
Yijian Chen
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
comb drive;
voltage-displacement-transfer characteristic;
switching threshold voltage;
positional lock;
transient optimization;
electrical damping, overshoot;
settling time;
ITAE performance index;
25.
Fabrication of the moving liquid mirror (MLM) spatial light modulator in a standard CMOS-process
机译:
在标准CMOS工艺中制造移动液体镜(MLM)空间光调制器
作者:
Alexander Wolter
;
Hubert Lakner
;
Heinz Kuck
;
Wolfgang Doleschal
;
Kay-Uwe Kirstein
;
Andreas Rieck
;
Kai Frohberg
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
spatial light modulator;
deformable oil film;
micromechanical actuator;
microdisplay;
active matrix;
silicon backplane;
light valve;
micromirrors;
26.
Materials impacts on Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems
机译:
材料对微光机电系统的影响
作者:
William D. Cowan
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
micro-electro-mechanical systems;
micro-opto-electro-mechanical systems;
MEMS;
MOEMS;
micromirrors;
27.
MOEMS arrys for interconnect applications
机译:
MOEMS面向互连应用
作者:
James Cstracane
;
Bai Xu
;
Christian Baks
;
Mikhail Gutin
;
Olga Gutin
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
MOEMS;
optical interconnects;
DMD;
MCG;
28.
Latching-Type 2X2 and 1x4 Fiber-Optic Switches
机译:
锁存型2X2和1x4光纤交换机
作者:
Peter Kopka
;
Martin Hoffmann
;
Edgar Voges
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
optical filber swith;
silicon micromachining;
MOEMS;
electro-thermal microactuator;
29.
Lucent Microstar~TM Micromirror Array Technology for Large Optical Crossconnects
机译:
适用于大型光学交叉连接的Lucent Microstar〜TM微镜阵列技术
作者:
V.A. Aksyuk
;
F. Pardo
;
C.A. Bolle
;
S. Arney
;
C.R. Giles
;
D.J. Bishop
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
30.
Low cost microspectrometer
机译:
低成本微谱仪
作者:
Gerhard Lammel
;
Sandra Schweizer
;
Philippe Renaud
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
microspectrometer;
tunable optical filber;
porous silicon;
electropolishing;
surface micromachining;
31.
Metrology for laser-structured microdevices by CCD-camera based vision systems
机译:
基于CCD相机的视觉系统对激光结构微设备的计量
作者:
Andreas Ostlender
;
Udo Putz
;
Ernst. W. Kreutz
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
关键词:
vision systems;
metrology;
autofocus algorithm;
laser material processing;
32.
MEMS/MOEMS for Lightwave Networks: Can Little Machines Make it Big
机译:
用于光波网络的MEMS / MOEMS:小型机器能否使它变大
作者:
Dave Bishop
;
Vladimir Aksyuk
;
Cris Bolle
;
Randy Giles
;
Flavio Pardo
;
Jim Walker
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
|
2000年
33.
MEMS actuators for silicon micro-optical elements
机译:
用于硅微光学元件的MEMS执行器
作者:
norman C. Tien
;
Daniel T. McCormick
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
miro-optical actuators;
asymmetric combdrives;
electrothermal vibromotor;
actuator control;
34.
Optical sensing of microsystem motion and performance
机译:
光学感应微系统的运动和性能
作者:
Scoot C. Hloswade
;
Fred M. Dickey
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
microsensors;
microcatuators;
optial probe;
feedback;
performance analysis;
35.
Advantages of Scanned Beam MOEMS Approach to Microdisplay and Related Applications
机译:
扫描束MOEMS方法在微显示器及其相关应用中的优势
作者:
Todd R. McIntyre
;
Thor D. Osborn
;
Radu Andrei
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
scanner;
microdisplay;
scanned beam;
manufacturing;
imaging;
testing;
36.
Performance of a Biaxial MEMS-Based Scanner for Microdisplay Applications
机译:
用于微显示应用的基于双轴MEMS的扫描仪的性能
作者:
David W. Wine
;
Mark P. Helsel
;
Lorne Jenkins
;
Hakan Urey
;
Thor D. Osborn
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
scanner;
MEMS;
biaxial;
resolution;
RSD;
display;
SVGA;
37.
The Improvement of Micro-torsional-mirror for High Frequency Scanning
机译:
高频扫描微扭转镜的改进
作者:
Hung-Yi Lin
;
JMingching Wu
;
Weileun Fang
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
micro torsional mirror;
levjel mechanism;
and rib-reinforced structure;
38.
Polysilicon micromachining 3D mirror integrated frequency tuner for WDM applications
机译:
用于WDM应用的多晶硅微加工3D镜面集成频率调谐器
作者:
X.M. Zhang
;
F. Chollet
;
F.S. Chau
;
C. Quan
;
A.Q. Liu
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
fiber-optic communication;
WDM;
frequency tuner;
optical MEMS;
and MOEMS;
39.
Surface-micromachined mirrors for scalable fiber optic switching applications
机译:
表面微机械镜,适用于可扩展的光纤交换应用
作者:
U. Krishnamoorthy
;
P.M. Hagelin
;
J.P. Heritage
;
O. Solgaard
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
micromirrora;
optical swithing;
surface micromachining;
scalable optical cross-connects;
electrostatic actuators;
beam steering;
40.
Thermally actuated microprojector for optical display applications
机译:
热驱动微型投影仪,用于光学显示应用
作者:
Sandra Schweier
;
Peter Cousseau
;
Sebastien Schiesser
;
Gerhard Lammel
;
Sam Calmes
;
Philippe Renaud
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
microprojector;
optical scanning;
bimorph actuator;
mini-display;
silicon micromachining;
41.
Test system for micro mirror arrays
机译:
微镜阵列测试系统
作者:
Peter Diirr
;
Thomas Tanneberger
;
Alexander Wolter
;
Wolfram Kluge
;
Wolfgang Doleschal
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
micro mirror;
spatial light modulator;
pixel defects;
automated test system;
fabricaton end test;
42.
Assembly processes for micro-optical beam transformation systems for high power diode laser bars and stacks
机译:
大功率二极管激光棒和堆叠的微光束转换系统的组装过程
作者:
Clcudia Gartner
;
Veit Blumel
;
Bernd Hofer
;
Anke Kraplin
;
Torsten Poner
;
Peter Schreiber
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
关键词:
micro-assembly;
micro-opptic;
beam transformation systems;
high power diode lasers;
43.
Bulk Micromachining for Sensors and Actuators
机译:
传感器和执行器的批量微加工
作者:
Masayoshi Esashi
会议名称:
《Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA》
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2000年
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