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首页> 外文会议>Conference on MOEMS and Miniaturized Systems 18-20 September 2000 Santa Clara, USA >Development of Individually Addressable Micro-Mirror-Arrays for Space Applications
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Development of Individually Addressable Micro-Mirror-Arrays for Space Applications

机译：用于空间应用的可单独寻址的微镜阵列的开发

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A two dimensional array of individually addressable micro-mirrors with 100mumx100mum pixel size, capable of tilting +/- 10deg by electrostatic atuation is being developed and fabrivated at the Detector Development Laboratory of NASA, GSFC. The development requires integration of CMOS and MEMS fabrication processes. We have completed extensive analytical studies and performed laboratory tests to compare model predictions with actual performance of a 3X3 array. We are testing the address and driver cirucit for a 32x32 array and also developing the process integration of the CMOS and MEMSfabrication of the larger arrays. The mirrors are capable of operating at cryogenic temperature for astronomical applications. Our goal is to extend the development to a 256x256 array for wide variety of space applications including the Multi-Object-Spectrometer in the Next Geneation Space Telescope (NGST).
机译：在GSFC的NASA检测器开发实验室，正在开发和制造一种二维阵列的可单独寻址的微镜，该微镜具有100mumx100mum的像素大小，能够通过静电作用倾斜+/- 10度。开发需要集成CMOS和MEMS制造工艺。我们已经完成了广泛的分析研究，并进行了实验室测试，以将模型预测与3X3阵列的实际性能进行比较。我们正在测试32x32阵列的地址和驱动器电路，还正在开发更大阵列的CMOS和MEMS制造工艺集成。这些反射镜能够在低温条件下用于天文应用。我们的目标是将开发范围扩展到256x256阵列，以用于各种空间应用，包括下一代太空望远镜（NGST）中的多对象光谱仪。

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