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首页> 外文会议>Conference on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology IX, Apr 23-25, 2002, Yokohama, Japan >High Performance Hierarchical Fracturing
【24h】

High Performance Hierarchical Fracturing

机译：高性能分层压裂

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We describe in more detail a mask data preparation (MDP) flow previously proposed in [1]. The focus on this paper is a performance comparison of hierarchical fracturing techniques compared to standard fracturing. Our flow uses GDSⅡ data as input, including a GDSⅡ-based job deck description. The output is maximally compacted, trapezoidal mask writer (MW) formatted data. Our flow takes advantage of hierarchy explicit in the GDSⅡ file(s). This allows optimal determination of "cover cells", which are repeatable groups of patterns within the data. The use of cover cells allows a reduction of fracturing runtime. In one case, a 21 GB MEBES file was fractured in 30 hours using the standard technique and 53 minutes using the hierarchical cover cell technique.
机译：我们将更详细地描述先前在[1]中提出的模板数据准备（MDP）流程。本文的重点是将分层压裂技术与标准压裂技术进行性能比较。我们的流程使用GDSⅡ数据作为输入，包括基于GDSⅡ的作业台描述。输出是最大压缩的梯形掩码写入器（MW）格式的数据。我们的流程利用了GDSⅡ文件中显式的层次结构。这允许最佳确定“覆盖单元”，“覆盖单元”是数据内模式的可重复组。使用覆盖单元可以减少压裂时间。在一种情况下，使用标准技术在30小时内破裂了21 GB MEBES文件，使用分层掩盖单元技术在53分钟内破裂了文件。

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