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首页> 外文会议>Conference on Sensors and Their Applications; 20030902-20030904; Limerick; IE >Micromoulded Elastomer springs for biomedical sensors using micromachined silicon moulds
【24h】

Micromoulded Elastomer springs for biomedical sensors using micromachined silicon moulds

机译：使用微加工硅模具的用于生物医学传感器的微模弹性体弹簧

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Elastomer deformation is used as the basis for sensing many mechanical quantities such as force, pressure and acceleration. Elastomer shape, characterised by the so called 'shape-factor' is an important index in optimising the elastic properties of such structures. In this work we exploit the characteristic shapes of trenches that arise in anisotropically etched silicon to form micro-spring structures. The etched silicon structures are used as moulds to form elastomer microsprings with carefully controlled shape-factors designed to optimise spring mechanical performance parameters such as linearity and hysteresis. Preliminary stress-strain data for PDMS microsprings is presented.
机译：弹性体变形被用作检测许多机械量（例如力，压力和加速度）的基础。以所谓的“形状因子”为特征的弹性体形状是优化此类结构的弹性性能的重要指标。在这项工作中，我们利用各向异性蚀刻的硅中形成的沟槽的特征形状来形成微弹簧结构。蚀刻后的硅结构用作模具，以形成具有精心控制的形状因数的弹性体微弹簧，这些形状因数可优化弹簧机械性能参数（例如线性和磁滞）。提供了PDMS微弹簧的初步应力-应变数据。

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